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洁净厂房绿色设计

2015-10-09 12:33:04 华纳娱乐-18187099535 阅读

洁净厂房

    洁净厂房是满足制造工艺需求的洁净室,该洁净室对环境洁净度、温湿度、振动、静电控制、气态分子级污染物控制等都有一定的要求,洁净室有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

 

    1、在小规模低等级要求的洁净室设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

 

    2、设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。

 

    3、FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的洁净设计方案。

 

洁净厂房是满足半导体制造工艺需求的洁净室,该洁净室对环境洁净度、温湿度、振动、ESD(静电控制)、AMC(气态分子级污染物)控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造洁净室有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

 

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